YYVIP易游先进激光技术研究院申请基于深度学习图像算法的衍射光斑光强分布及套刻误差获取方法专利提高套刻误差计算精度

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　　国家知识产权局信息显示，南京先进激光技术研究院申请一项名为“基于深度学习图像算法的衍射光斑光强分布及套刻误差获取方法、设备及介质”的专利，公开号CN121300009A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种基于深度学习图像算法的衍射光斑光强分布及套刻误差获取方法、设备及介质，方法包括向晶圆输出恒定强度与光谱的光照；采集若干晶圆的衍射光斑图像及图像对应的晶圆姿态信息、套刻误差数据，对衍射光斑图像进行标注后构建样本集；构建依次连接的光斑提取网络、特征提取网络和套刻误差预测网络，并利用样本集对所有网络进行训练和测试，得到测试后的网络；采集待处理的衍射光斑图像，并进行图像预处理，得到第一衍射光斑图像；对第一衍射光斑图像输入至训练后的网络，计算套刻误差。发明基于光斑提取网络、特征提取网络和套刻误差预测网络进行深度学习，高效、精确的实现衍射光斑强度分布比较，并提高套刻误差计算精度。

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