YYVIP易游中科飞测申请物镜调节方法及套刻测量方法专利补偿像差对套刻测量结果产生的误差

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　　国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种物镜调节方法及套刻测量方法”的专利，公开号CN121325356A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种物镜调节方法及套刻测量方法，通过移动补偿透镜到不同位置，并测量补偿透镜在不同位置时，经物镜对第一晶圆的标记进行成像时像的清晰度。在满足预设条件时停止移动补偿透镜，并获取补偿透镜的位置，使得像的清晰度最大。获取第一晶圆的厚度与物镜内补偿透镜的位置关系，对物镜内的补偿透镜的位置进行校准，从而补偿由光透过第一晶圆而产生的像差对套刻测量结果产生的误差。

　　天眼查资料显示，深圳中科飞测科技股份有限公司，成立于2014年，位于深圳市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本32000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目272次，财产线条，此外企业还拥有行政许可40个。

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